環(huán)氧乙烷滅菌器的滅菌方式很特別，它滅菌效果好，贏得了大家的認可，所使用的滅菌方式，主要應用于對那些不宜用其他方法滅菌的、熱敏感的產品或部件。在制藥行業(yè)中常用于無菌生產的部件和用品的滅菌，也用于給藥器械的滅菌，例如：環(huán)氧乙烷滅菌用于某些物品的無菌制造工藝，如塑料瓶或管、橡膠塞、塑料塞和蓋。這些產品主要是塑料或橡膠的給藥器械。環(huán)氧乙烷滅菌也用于工藝設備，如在制造區(qū)內所使用的凍干機。
　　含氯的物品及能吸附環(huán)氧乙烷的物品則不宜使用本法滅菌。常見的環(huán)氧乙烷滅菌工藝采用真空過程(低于1atm)，一般可采用100％純環(huán)氧乙烷或含40％～90％環(huán)氧乙烷的混合氣體(例如：與二氧化碳或氮氣混合)。當采用正壓過程時，采用8％～20％的環(huán)氧乙烷與二氧化碳氣體混合使用。產品在充有滅菌氣體的受壓腔室內進行滅菌處理。